高速光学扫描振镜系统主要用于激光精密标刻、激光快速成型、激光调阻、激光切割、激光钻孔、激光刻线等。可带载16mm、20mm标准入射光斑的各种波长的镜片。
高速光学扫描振镜系统技术参数（所指角度为机械角，所有参数测定均为一分钟上电后）
1、伺服驱动板参数说明
1.1 电源电压：±24V±10％（正负电压 值相等）
1.2 模拟信号输入阻抗：100K±1％Ω（单端输入）
1.3 位置信号输出阻抗：1K±1％Ω
1.4 模拟位置信号输入范围：±10V／±5V（可选）
1.5 位置信号输入比例系数：0.5V／°
1.6位置信号输出比例系数：0.5V／°
1.7 工作温度：25℃±10℃
1.8 驱动板尺寸：96.9mm（L）＊71mm（W）＊37mm（H）
2.马达的电气与机械特性：
2.1 小步长阶跃响应时间：0.7ms
2.2 线性度：99.9％，范围±20°
2.3 比例漂移：＜40PPM／℃
2.4 零点漂移：＜10μRad.／℃
2.5 重复精度：＜8μRad.／℃
2.6 平均工作电流：1.8A
2.7 峰值电流：15A
2.8 扫描角度（机械角）：±21°
2.9 工作温度：25℃±10℃
