高速光學掃描振鏡系統主要用於激光精密標刻、激光快速成型、激光調阻、激光切割、激光鑽孔、激光刻線等。可帶載16mm、20mm標準入射光斑的各種波長的鏡片。
高速光學掃描振鏡系統技術參數（所指角度為機械角，所有參數測定均為一分鐘上電后）
1、伺服驅動板參數說明
1.1 電源電壓：±24V±10％（正負電壓 值相等）
1.2 模擬信號輸入阻抗：100K±1％Ω（單端輸入）
1.3 位置信號輸出阻抗：1K±1％Ω
1.4 模擬位置信號輸入範圍：±10V／±5V（可選）
1.5 位置信號輸入比例係數：0.5V／°
1.6位置信號輸出比例係數：0.5V／°
1.7 工作溫度：25℃±10℃
1.8 驅動板尺寸：96.9mm（L）＊71mm（W）＊37mm（H）
2.馬達的電氣與機械特性：
2.1 小步長階躍響應時間：0.7ms
2.2 線性度：99.9％，範圍±20°
2.3 比例漂移：＜40PPM／℃
2.4 零點漂移：＜10μRad.／℃
2.5 重複精度：＜8μRad.／℃
2.6 平均工作電流：1.8A
2.7 峰值電流：15A
2.8 掃描角度（機械角）：±21°
2.9 工作溫度：25℃±10℃
